微焦點X射線檢查系統

將X射線和CT結合

XslicerSMX-6000微焦點X射線檢查系統是島津公司采用自制的微焦點X射線發生器和高靈敏度平板接收器的一款帶有CT功能的X射線透視系統。

順暢的切換將透視觀察和斷面觀察快速連接在一起，全新的CT處理引擎能夠進行全自動校準、高速拍攝以及重構。

高放大倍數、高分辨率的圖像不會變形，從而可以觀察電子元器件等平板狀樣品內部的細微構造和缺陷。

Easy  operation

采用全新UI（用戶界面）可以實現直觀的簡單操作。關閉拉門后即可開始檢查。即使對于初次使用者，也可以輕松地進行X射線檢查

Easy  CT  imaging

從X射線透視觀察到CT攝影只需點擊切換圖標。對于透視觀察難以識別的立體構造物品，通過簡單的操作就能立刻切換到斷面觀察。

High  Speed  Scan   & Reconstruction

設備采用了可實現*自動化校正與高速CT 掃描&重建的「Xslicer 」系統。從CT拍攝開始到顯示截面圖像最短可在3分鐘以內完成。

Easy operation　直觀的操作

通過大型顯示器以及簡單的按鍵設置可以實現視認性良好的直觀操作。即使對于初次使用者，也可以輕松地進行X射線檢查。

使用大型顯示器

本品采用了27英寸大型顯示器。通過簡單的按鍵設置以及高清晰度的大型檢出器，可在視認性良好的狀態下對樣品進行仔細的觀察。

用X射線圖像定位
只需點擊X射線圖像上的任意一點，就可以對載物臺進行全行程的移動控制。包括 XY·傾斜·旋轉以及變更視野大小等。

使用外觀圖像定位
本品使用了拍攝外觀圖像的專用相機，能夠對整個載物臺進行攝影。只需在外觀圖像點擊的希望檢查的位置，即可對載物臺進行定位。當然，操作人員也可以通過對外觀圖像進行放大或縮小，來實現部件級別的詳細定位。這樣，操作者的視線無需離開顯視器便可連續進行操作。

微焦點X射線檢查系統Easy  operation  操作簡便

從放入樣品起只需3步即可開始X射線透視拍攝。

STEP1更換樣品

按下更換樣品按鈕

●停止發射X射線
●解除正門的電磁鎖
●載物臺會自動移動到便于更換樣品的位置

STEP2開始檢查

關閉正門，按下開始按鈕。

● 發射X射線
● 拍攝整個載物臺的外觀圖像

STEP3定位

在拍攝的外觀圖像上確定大致的觀察位置并點擊該位置點，再在X射線透視圖像上點擊鼠標，精確確定觀察位置。

由于采用了新的UI（用戶界面），全部的移動操作可通過點擊或拖拽X射線圖像來實現。這樣操作者的視線無需離開監視器便可快速進行移動的操作。

<中心位置移動>
若鼠標點擊X射線圖像的顯示區域，則移動前圖像上被點擊的位置就成為當前顯示區域的中心。

<放大>
若在X射線圖像顯示區域內，從左往右拖拽鼠標，則拖拽的范圍會放大到全屏顯示。

<縮小>
若在X射線圖像顯示區域內，從右往左拖拽鼠標，則畫面會按照一定的倍率縮小。

Easy CT imaging 輕松的CT拍攝

對于透視圖像上不易識別、具有復雜的立體構造的樣品可分為不同層面進行斷面觀察。

CT的原理

當平板檢出器傾斜時，載物臺一邊進行360度旋轉，檢出器一邊采集X射線透視圖像，利用采集的透視圖像進行重建演算，形成截面圖像。如果只使用X射線透視進行觀察，由于在射線方向的信息會疊加，導致無法分辨雙面實裝基板的正反面；但如果使用X射線CT，就可以細致地觀察每一個層面。

進行X射線透視時，射線方向（一般為樣品厚度方向）上的信息會重疊，如果樣品為雙面實裝基板，則無法分辨觀察點處于基板的哪一面，但如果使用X射線CT模式檢測，就可以對每個層面單獨進行觀察。

Smooth  Switching  順暢切換

只需選擇菜單圖標便可輕松實現X射線透視與CT拍攝之間的切換。CT拍攝的條件設置十分簡單，只需選擇拍攝模式、拍攝角度、拍攝視野即可完成。在透視檢查中希望觀察的點可立刻順暢切換至CT觀察模式。

High  Speed  Scan &  Reconstruction高速拍攝＆高速重建

設備采用新型CT處理引擎「XslicerEngine」，過去的CT拍攝開始前必須的校正作業現在*自動化，真正實現了高速拍攝。從CT拍攝到顯示截面圖像最快可在3分鐘內完成。（※簡易模式下）
另外，「XslicerEngine」大幅提升了重建的演算速度，數據采集結束后僅需5秒便可顯示出截面圖像。

可選軟件

Image-Pro Analyzer

是功能強大的2維圖像處理軟件。

VGStudio三維圖像處理軟件

將使用X射線CT拍攝的截面圖像，通過Volume lettering（VR）以三維形式顯示的軟件。具備基本的動畫制作和簡單的測量功能。

輔助檢查的各項功能

教學（Teaching）功能

只要事先登錄好檢查點，就可以高效率的對同一種樣品進行相同要求的檢測。

自動畫質調整功能

系統可對各個畫面設定最合適的觀察條件。

全景圖像

只需從外觀圖像上選定拍攝范圍，即可輕松得到最合適的全景立體圖像。

產品應用