掃描電子顯微鏡SEM工作原理

透射電鏡原理

　　目前，主流的透射電鏡鏡筒是電子槍室和由6～8 級(jí)成像透鏡以及觀察室等組成。陰極燈絲在燈絲加熱電流作用下發(fā)射電子束，該電子束在陽(yáng)極加速高壓的加速下向下高速運(yùn)動(dòng)，經(jīng)過(guò)*聚光鏡和第二聚光鏡的會(huì)聚作用使電子束聚焦在樣品上，透過(guò)樣品的電子束再經(jīng)過(guò)物鏡、*中間鏡、第二中間鏡和投影鏡四級(jí)放大后在熒光屏上成像。電鏡總的放大倍數(shù)是這四級(jí)放大透鏡的放大倍數(shù)的乘積，因此透射電鏡有著更高的放大范圍（200×～1500000×）。

　　掃描電鏡原理

　　掃描電子顯微鏡的設(shè)計(jì)思想和工作原理，早在1935年便已被提出來(lái)了。1942年，英國(guó)首先制成一臺(tái)實(shí)驗(yàn)室用的掃描電鏡，但由于成像的分辨率很差，照相時(shí)間太長(zhǎng)，所以實(shí)用價(jià)值不大。經(jīng)過(guò)各國(guó)科學(xué)工作者的努力，尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展，到1956年開(kāi)始生產(chǎn)商品掃描電鏡。近數(shù)十年來(lái)，掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中，促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。

　　一.掃描電鏡的特點(diǎn)

　　和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比，掃描電鏡具有以下特點(diǎn)：

　　（一） 能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

　　（二） 樣品制備過(guò)程簡(jiǎn)單，不用切成薄片。

　?。ㄈ?樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn)，因此，可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察。

　　（四） 景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。

　?。ㄎ澹?圖象的放大范圍廣，分辨率也比較高?？煞糯笫畮妆兜綆资f(wàn)倍，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間，可達(dá)3nm。

　?。?電子束對(duì)樣品的損傷與污染程度較小。

　　（七） 在觀察形貌的同時(shí)，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)作微區(qū)成分分析。

　　二.掃描電鏡的結(jié)構(gòu)和工作原理

　?。ㄒ唬?結(jié)構(gòu)

　　1.鏡筒

　　鏡筒包括電子槍、聚光鏡、物鏡及掃描系統(tǒng)。其作用是產(chǎn)生很細(xì)的電子束（直徑約幾個(gè)nm），并且使該電子束在樣品表面掃描，同時(shí)激發(fā)出各種信號(hào)。

　　2.電子信號(hào)的收集與處理系統(tǒng)

　　在樣品室中，掃描電子束與樣品發(fā)生相互作用后產(chǎn)生多種信號(hào)，其中包括二次電子、背散射電子、X射線、吸收電子、俄歇（Auger）電子等。在上述信號(hào)中，zui主要的是二次電子，它是被入射電子所激發(fā)出來(lái)的樣品原子中的外層電子，產(chǎn)生于樣品表面以下幾nm至幾十nm的區(qū)域，其產(chǎn)生率主要取決于樣品的形貌和成分。通常所說(shuō)的掃描電鏡像指的就是二次電子像，它是研究樣品表面形貌的zui有用的電子信號(hào)。檢測(cè)二次電子的檢測(cè)器的探頭是一個(gè)閃爍體，當(dāng)電子打到閃爍體上時(shí)，1就在其中產(chǎn)生光，這種光被光導(dǎo)管傳送到光電倍增管，光信號(hào)即被轉(zhuǎn)變成電流信號(hào)，再經(jīng)前置放大及視頻放大，電流信號(hào)轉(zhuǎn)變成電壓信號(hào)，zui后被送到顯像管的柵極。

　　3.電子信號(hào)的顯示與記錄系統(tǒng)

　　掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管（顯像管）上，并由照相機(jī)拍照記錄。顯像管有兩個(gè)，一個(gè)用來(lái)觀察，分辨率較低，是長(zhǎng)余輝的 管子;另一個(gè)用來(lái)照相記錄，分辨率較高，是短余輝的管子。

　　4.真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)

　　掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵組成，其作用是使鏡筒內(nèi)達(dá)到 10-4～10-5托的真空度。電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源。

　?。ǘ?工作原理

　　從電子槍陰極發(fā)出的直徑20μm～30μm的電子束，受到陰陽(yáng)極之間加速電壓的作用，射向鏡筒，經(jīng)過(guò)聚光鏡及物鏡的會(huì)聚作用，縮小成直徑約幾毫微米的電子探針。在物鏡上部的掃描線圈的作用下，電子探針在樣品表面作光柵狀掃描并且激發(fā)出多種電子信號(hào)。這些電子信號(hào)被相應(yīng)的檢測(cè)器檢測(cè)，經(jīng)過(guò)放大、轉(zhuǎn)換，變成電壓信號(hào)，zui后被送到顯像管的柵極上并且調(diào)制顯像管的亮度。顯像管中的電子束在熒光屏上也作光柵狀掃描，并且這種掃描運(yùn)動(dòng)與樣品表面的電子束的掃描運(yùn)動(dòng)嚴(yán)格同步，這樣即獲得襯度與所接收信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)應(yīng)的掃描電子像，這種圖象反映了樣品表面的形貌特征。第二節(jié)掃描電鏡生物樣品制備技術(shù)大多數(shù)生物樣品都含有水分，而且比較柔軟，因此，在進(jìn)行掃描電鏡觀察前，要對(duì)樣品作相應(yīng)的處理。掃描電鏡樣品制備的主要要求是：盡可能使樣品的表面結(jié)構(gòu)保存好，沒(méi)有變形和污染，樣品干燥并且有良好導(dǎo)電性能。